精密機器パーツ・モジュール product

精密機器パーツ・モジュール

マイクロミストスプレー


キャピラリーノズル(外径1.6mm)

キャピラリーノズル

  • 外径1.6mmノズル管は自由に曲げることができ、狭い場所や隙間を通して使用できます。
  • スプレーするノズル管先端は当社独自の微細加工が施され、シングルμから数百μまで、ご希望のスプレー粒径を実現します。

マルチノズル

マルチノズル (写真は5連マルチノズル)

  • キャピラリーノズルを束ねて自由なスプレーパターンを実現します。
  • ノズルの数を増やすことで大流量化が簡単にできます、スプレー量が多くなっても粒径は変化しません。
  • スプレーするノズル管先端は当社独自の微細加工が施され、シングルμから数百μまで、
    ご希望のスプレー粒径を実現します。


MMノズル(マイクロミストノズル)

MMノズル MMノズル
  • ノズル先端を交換でき広範囲な流量に対応します。
  • スプレーするノズル管先端は当社独自の微細加工が施され、シングルμから数百μまで、ご希望のスプレー粒径を実現します。
ICF-MMノズル ICF-MMノズル
  • ICFシール構造で減圧、加圧、高温、低温、環境で使用できます。
  • 接液、接ガス部は全て金属構造。
  • ノズル先端を交換でき広範囲な流量に対応します。
  • スプレーするノズル管先端は当社独自の微細加工が施され、シングルμから数百μまで、ご希望のスプレー粒径を実現します。

スプレー性能評価

レーザー粒径分布測定設備

計測の様子 粒径分布グラフ
計測機器
スプレー粒径分布計測
  • レーザー粒径分布測定設備で製造するすべての製品に対してスプレー粒径計測を実施し、スプレー粒径を保証します。


減圧・加圧、加熱環境スプレー評価設備

評価設備 評価設備 評価設備

    特殊環境でのスプレー評価
  • 減圧から加圧、常温から高温、広範囲な圧力、温度環境でスプレー評価ができる設備がありますので、実用に近い評価ができます。
  • スプレー後の状態評価(気化、固化)も評価設備があります。

気化器


気化器
特徴

閉塞しない

ノズル閉塞しやすい溶媒希釈材料など、液移送部の温度制御により液体材料の熱による変質や閉塞を防止しています。

パーティクルが少ない

スプレー粒径が微細均一なノズルで液体材料の表面積を増やし、均熱に温度制御された気化室で加熱することで、未気化成分のパーティクルを低減しています。

メタルコンタミが少ない

純水を材料とした酸化用H2O気化器で、弊社独自の気化室内表面処理技術でメタルコンタミを低減しています。
用途
半導体液体材料の安定気化

ガス加熱器


特徴

ガス加熱器 分離で自由なレイアウト、一体化で省スペース

安全

ヒータがガス流路内に無いためヒーター事故がガス系統に影響しません。

温度差が少ない

ヒーター温度と出口ガス温度の温度差が少ないためヒーター付近のガスが高温になることはありません

ガスのON、OFFができます

用途
独自加熱方式(熱交換)による排気ラインの詰まりを防止します。

創研工業株式会社
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